
隨著電子信息產(chǎn)品市場(chǎng)的快速發(fā)展,高性能芯片、新型顯示等電子器件市場(chǎng)廣闊。蒸發(fā)材料和濺射靶材等鍍膜材料是電子器件制造的關(guān)鍵支撐,其中鋁薄膜以其電阻率較低、易沉積、易刻蝕、工藝成熟等優(yōu)點(diǎn)被廣泛應(yīng)用。早期超高純鋁及鋁合金鍍膜材料主要由國(guó)外企業(yè)控制市場(chǎng),有研億金打破鍍膜材料依賴進(jìn)口的狀況,實(shí)現(xiàn)鍍膜材料關(guān)鍵技術(shù)的開發(fā)及產(chǎn)業(yè)化的供應(yīng),不僅推動(dòng)行業(yè)良性發(fā)展,同時(shí)增強(qiáng)國(guó)際市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)力。是傳統(tǒng)有色金屬工業(yè)轉(zhuǎn)型升級(jí)、開發(fā)高附加值深加工產(chǎn)品的重要示范。中國(guó)有色金屬工業(yè)協(xié)會(huì)、中國(guó)有色金屬學(xué)會(huì)公布的2015 年度中國(guó)有色金屬工業(yè)科學(xué)技術(shù)獎(jiǎng)公示名單中 “電子信息用超高純鋁及其合金鍍膜材料的關(guān)鍵技術(shù)開發(fā)及產(chǎn)業(yè)化”項(xiàng)目獲中國(guó)有色金屬工業(yè)科學(xué)技術(shù)一等獎(jiǎng),為促進(jìn)我國(guó)實(shí)現(xiàn)超高純鋁及其合金鍍膜材料國(guó)產(chǎn)化和本地化供應(yīng)提供有力的技術(shù)支撐。
超高純鋁鍍膜材料的研制包括超高純鋁及其合金蒸發(fā)材料和濺射靶材成套技術(shù)開發(fā)及應(yīng)用。要求產(chǎn)品性能指標(biāo)滿足電子信息應(yīng)用領(lǐng)域嚴(yán)格的鍍膜要求,通過客戶的應(yīng)用認(rèn)證實(shí)現(xiàn)批量生產(chǎn),質(zhì)量穩(wěn)定、性能可靠并達(dá)到國(guó)際同類產(chǎn)品標(biāo)準(zhǔn)。從小尺寸的鋁蒸發(fā)材料研發(fā)起步,到4~6”小尺寸半導(dǎo)體用濺射靶材、8~12”大尺寸半導(dǎo)體用濺射靶材,再到高代線大尺寸平板顯示用濺射靶材的研制,歷經(jīng)10年時(shí)間,實(shí)現(xiàn)了超高純鋁鍍膜材料全面技術(shù)突破,開發(fā)出超高純新型鋁合金制備技術(shù)5大關(guān)鍵技術(shù),在產(chǎn)品性能達(dá)標(biāo)的同時(shí)解決了大尺寸靶材工程化實(shí)施難題。通過項(xiàng)目的實(shí)施,已授權(quán)專利19項(xiàng)(發(fā)明7項(xiàng)),發(fā)表文章21篇,制定鋁靶材和蒸發(fā)料相關(guān)國(guó)家/行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)4項(xiàng),獲得北京市自主創(chuàng)新產(chǎn)品認(rèn)定1項(xiàng)、北京市新技術(shù)新產(chǎn)品認(rèn)定1項(xiàng),北京市高新技術(shù)成果轉(zhuǎn)化1項(xiàng),中國(guó)半導(dǎo)體協(xié)會(huì)創(chuàng)新產(chǎn)品和技術(shù)獎(jiǎng)1項(xiàng)。項(xiàng)目驗(yàn)收及專家評(píng)價(jià)階段,國(guó)家863計(jì)劃重點(diǎn)項(xiàng)目和北京市科委科技計(jì)劃重大項(xiàng)目均通過考核指標(biāo),并給與了高度的評(píng)價(jià),一致通過驗(yàn)收。科學(xué)技術(shù)成果評(píng)價(jià)該項(xiàng)目技術(shù)經(jīng)濟(jì)指標(biāo)先進(jìn),經(jīng)濟(jì)、社會(huì)效益顯著,項(xiàng)目總體達(dá)到國(guó)內(nèi)領(lǐng)先、國(guó)際先進(jìn)水平。
多年來,有研億金新材料有限公司致力于超高純鍍膜材料的國(guó)產(chǎn)化和本地化供應(yīng),積極努力打造國(guó)產(chǎn)鍍膜材料品牌,在我國(guó)電子信息制造產(chǎn)業(yè)的發(fā)展過程中貢獻(xiàn)力量。